[发明专利]热透镜效应检测方法和检测装置在审
| 申请号： | 202211052920.9 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115615925A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 李勋武;颜章健 | 申请（专利权）人： | 苏州迅镭激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 苏州佳捷天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 32516 | 代理人： | 陈婧烨 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种热透镜效应检测方法和检测装置。包括：利用迈克尔逊干涉方法设置检验光路,使检验光路经过检测待测窗口片后形成等倾干涉的圆环形条纹,使测试光路穿过待测窗口片,且测试光路与待测窗口片垂直,通过计算等倾干涉的圆环形条纹的变化量确定待测窗口片的改变量。本申请的方法由于采用的是干涉方法，即使待测窗口片的待测表面有微小的波长级的变化，也会引起整个等倾干涉的圆环形条纹的极大改变。因此，可实现高精度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 效应 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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