[发明专利]一种应用于气相沉积设备的压力调控装置及其方法在审
| 申请号： | 202211056621.2 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115328226A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 胡祥龙;戴煜;周岳兵;魏巍 | 申请（专利权）人： | 湖南顶立科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙) 43244 | 代理人： | 张毅 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市中国（湖南）自由贸*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于气相沉积设备的压力调控装置及其方法，包括主进气调压管路、负载进气调压管路、主路阀门、旁路调节阀和真空计，沉积炉的进气口连接主进气调压管路，沉积炉的出气口通过主路阀门连接真空泵组，旁路调节阀连接所述主路阀门的两侧，负载进气调压管路连接所述主路阀门的进气口，所述主进气调压管路和负载进气调压管路均连接工艺进气端，沉积炉设有测量沉积炉内气压的真空计。本发明解决了沉积炉内工艺压力的长期稳定和精确可控的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 沉积 设备 压力 调控 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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