[发明专利]一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备在审
| 申请号： | 202211058110.4 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115421419A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 张汉石;沈浩;王伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 李潇 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备。上电极搭头处理电路包括第一控制开关和搭头检测电路。第一控制开关串接于第一供电支路与驱动装置之间；搭头检测电路在检测到上电极发生搭头现象时，控制第一控制开关闭合，以使第一供电支路向驱动装置供电，驱动装置带动上电极下降，使上电极回落到反应腔上。可见，本申请在开盖机构提升上电极时，可检测上电极是否发生搭头现象，并在上电极发生搭头现象时，将原有的上电极提升动作自动转换为上电极下降动作，使上电极回落到反应腔上，从而及时发现上电极发生搭头现象并处理，避免上电极的四个边角的悬垂量差距过大引发一系列问题，保证设备开盖过程的安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 处理 电路 机构 半导体设备 | ||
【主权项】：
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