[发明专利]一种提升石英谐振子Q值的表面处理方法有效
| 申请号： | 202211059669.9 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115138632B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王妍妍;赵坤;韩鹏宇;田纪遨;韦路锋;丛正;赵丙权 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王艳斋 |
| 地址： | 300131 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提升石英谐振子Q值的表面处理方法，所述表面处理方法对加工成型后的石英谐振子依次进行SPM溶液清洗、BHF溶液清洗、硫酸清洗和臭氧水清洗，实现了石英谐振子表面污染物的高效清除以及加工应力的有效去除，大大提升了石英谐振子Q值。所述表面处理方法操作简单，处理效果好，在对熔融石英加工件的损耗有极高要求的领域具有大规模推广应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 石英 谐振子 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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