[发明专利]一种稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构及其籽晶稳定方法在审
| 申请号： | 202211068294.2 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115287746A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 许堃;李安君;吴超慧;汪沛渊;朱厚军;罗昌萍 | 申请（专利权）人： | 宇泽半导体（云南）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 卓红 |
| 地址： | 675000 云南省楚雄彝族*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶籽晶加工技术领域，具体为一种稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构及其籽晶稳定方法，包括副室，副室的内部设置有重锤，副室的内部位于重锤的顶部处安装有定位环，重锤的顶端连接有钨丝绳，重锤的底端安装有夹头，夹头的底端夹持有籽晶。该稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构中，通过改变单晶炉副室的设计，实现了籽晶的稳定由人工完成变成由单晶炉完成切换，减少了人工稳定籽晶的操作，节省了人工；该用于稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构的籽晶稳定方法中，对副室净化参数进行改进，保证在副室净化时，籽晶能够升降，单晶炉能够完成籽晶的自动升降，因此能够完成籽晶的自动稳定，达到籽晶稳定由单晶炉自动完成的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 籽晶 单晶炉副室 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
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