[发明专利]可旋转波纹管装置在审
| 申请号： | 202211069666.3 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115325178A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王淑梅;刘翠;蒋嘉 | 申请（专利权）人： | 盛华基材（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/52 | 分类号： | F16J15/52;H01L21/67 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 李文洋 |
| 地址： | 300308 天津市东丽区华明*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种可旋转波纹管装置，波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能。本装置可以同时实现旋转和升降运动防护的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 波纹管 装置 | ||
【主权项】：
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