[发明专利]多层喷淋装置在审
| 申请号： | 202211069726.1 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115325286A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 李足花;王淑梅;刘翠;蒋嘉 | 申请（专利权）人： | 盛华基材（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | F16L9/14 | 分类号： | F16L9/14;B05B15/00 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 李文洋 |
| 地址： | 300308 天津市东丽区华明*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种多层喷淋装置，包括至少一层外层非金属管材、至少一层中间层金属管材和至少一层内层非金属管材，其中，外层非金属管材、中间层金属管材和内层非金属管材依次同心套装在一起。本装置既耐化学药品腐蚀又能具有很好的刚性，通过最外层非金属管材实现耐化学药品腐蚀功能，通过中间层金属管材实现喷淋装置具有足够的刚性，通过最内层非金属管材实现化学药品的承载。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
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