[发明专利]半导体工艺设备、废气处理装置与阻塞物清理组件在审
| 申请号： | 202211070720.6 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115318767A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 程迪 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/043 | 分类号： | B08B9/043;B08B13/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 曾旻辉 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种半导体工艺设备、废气处理装置与阻塞物清理组件，组件包括驱动机构以及刮料组件。驱动机构包括串联连接的至少两个气缸单体，气缸单体包括缸筒、活动地穿设于缸筒的活塞杆、以及活动地设于缸筒内部并与活塞杆相连的活塞，所有的活塞杆依次串联连接形成驱动杆。刮料组件与驱动杆相连，刮料组件用于活动地设于废气处理装置的进气通道中，以去除进气通道内壁上沉积的阻塞物。上述的阻塞物清理组件，通过多活塞的设计方式可以成倍地提升驱动力的大小，让气缸作动更加顺畅，从而能更好地清理进气通道内壁上的硬质结晶，解决了传统的气缸驱动力较小导致连杆处极易出现结晶并使得气缸卡死无法作动进而导致整个进气通道完全堵塞的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 工艺设备 废气 处理 装置 阻塞 清理 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211070720.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种显示装置
- 下一篇：折叠型超高频RFID双面抗金属标签天线
