[发明专利]异常检测装置、异常检测方法、存储介质、快门装置及曝光装置在审
| 申请号： | 202211078952.6 | 申请日： | 2022-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN115774378A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 宫崎骏佑 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;高华丽 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供异常检测装置、异常检测方法、存储介质、快门装置及曝光装置。一种异常检测装置用于检测被构造为遮挡光的快门装置中的异常操作，所述异常检测装置包括：检测单元，其被构造为：在关于对快门装置的测量数据的信息被输入到异常检测模型的情况下，使用所述异常检测模型检测异常操作，所述异常检测模型输出用于检测异常操作的确定数据。 | ||
| 搜索关键词： | 异常 检测 装置 方法 存储 介质 快门 曝光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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