[发明专利]一种基于硅基集成产品开发的射频滤波器在审
| 申请号： | 202211083594.8 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN115663424A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 王峥;李佳;熊金旺;张志聪;张文锋;张继帆;刘晓伟;陈明川 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 |
| 主分类号： | H01P1/20 | 分类号： | H01P1/20 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 管高峰 |
| 地址： | 610036 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于硅基集成产品开发的射频滤波器，射频滤波器包括从上至下的第一沉积金属层、第二沉积金属层、第三沉积金属层和第四沉积金属层，第四沉积金属层下方设有衬底层，衬底层下方设有过渡层，滤波器设有从第二沉积金属层下方贯通至过渡层下方的通孔，通孔用于实现内部各层互联以及芯片正反面的连接，第一沉积金属层顶部还设有外部电连接元件，第四沉积金属层和第三沉积金属层间还设有电容介质层，过渡层下方还设有再分布层和设于再分布层下方的沉积凸点下金属层，沉积凸点下金属层底部设有外部基板连接件。本发明能够减小射频互联接口的寄生效应，减小射频滤波器的体积，提高集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 集成 产品 开发 射频 滤波器 | ||
【主权项】：
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