[发明专利]一种可调节的芯片用下料设备及控制系统在审

专利信息
申请号: 202211087440.6 申请日: 2022-09-07
公开(公告)号: CN115513113A 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 胡汉球;姚煜 申请(专利权)人: 南通鑫润软件开发有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226000 江苏省南通市崇川区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种可调节的芯片用下料设备及控制系统,涉及半导体加工技术领域,包括输送机构、底座和控制面板,所述底座的顶部开设有安装槽,所述安装槽的内壁固定安装有输送机构,所述底座的正面固定安装有控制面板,所述底座的顶部固定连接有空腔板,所述空腔板的外壁固定安装有驱动电机。本发明通过设置的连接框、第一电动伸缩杆、连接板、微型真空抽气机、连通管、吸盘和收缩杆之间的配合,通过第一电动伸缩杆推动连接板下移,使连接框与输送机构进行接触,而收缩杆能够在连接框与输送机构接触的过程中进行缓冲,便于吸盘与芯片接触,通过微型真空抽气机和连通管将吸盘内的空气进行抽取,使吸盘与芯片之间产生负压,便于对芯片进行吸取。
搜索关键词: 一种 调节 芯片 用下料 设备 控制系统
【主权项】:
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