[发明专利]一种基于电感耦合等离子体的真空玻璃真空度检测系统有效
| 申请号： | 202211088672.3 | 申请日： | 2022-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN115728002B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 吴淑群;徐志豪 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 过顾佳 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种基于电感耦合等离子体的真空玻璃真空度检测系统，涉及真空玻璃检测领域，该真空玻璃真空度检测系统中的真空度检测装置包括直流电源、匹配电路和螺旋型结构的电感线圈，电感线圈贴近待检测真空玻璃，直流电源通过匹配电路给电感线圈通入交流电流，使得电感线圈产生交变的感应电场，基于交变电磁场在低气压环境下容易产生电感耦合等离子体的特性，利用待检测真空玻璃的内部隔层中形成的发光区域的面积来指示待检测真空玻璃的真空度，为真空玻璃的真空度检测提供了一种全新的思路，相比于现有各种真空度检测装置和方法，本申请结构简单，检测效率和检测准确度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电感 耦合 等离子体 真空 玻璃 检测 系统 | ||
【主权项】：
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