[发明专利]一种技术开发用半导体制造设备在审
申请号: | 202211090149.4 | 申请日: | 2022-09-07 |
公开(公告)号: | CN115893216A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 周威 | 申请(专利权)人: | 周威 |
主分类号: | B66C23/04 | 分类号: | B66C23/04;B66C23/62;B66C23/69;B66C23/84;B66C1/46;B66C13/08;B28D5/02;B28D7/04;B28D7/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 235300 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开的属于半导体制造技术领域,具体为一种技术开发用半导体制造设备,包括支撑座,所述支撑座的表面螺栓固定有支撑板,支撑板的侧面固定安装有液压杆,撑座的前后两侧固定连接有立柱,立柱的顶部固定安装有顶板,液压杆的上方固定安装有连接块,连接块的内部固定连接有第一电机,第一电机的输出轴上固定安装有转轴,转轴的顶部固定连接有固定筒,固定筒的表面转动安装有第一电动推杆,第一电动推杆的前端连接有外壳,外壳和第一电动推杆之间安装有牵引组件,外壳的内部安装有夹板;该装置能够在截断硅锭顶部多余部分后对溅射的残留物进行遮挡,同时能够在移动硅锭的位置时自动横置硅锭,提升了半导体的制作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 技术开发 半导体 制造 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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B66 卷扬;提升;牵引
B66C 起重机;用于起重机、绞盘、绞车或滑车的载荷吊挂元件或装置
B66C23-00 起重机,主要由一根梁、臂架或起悬臂作用的三角构架组成,并且安装成能在垂直或水平平面内作移动或摆动,或者两种运动一起进行,如悬臂起重机、桅杆起重机、塔式起重机
B66C23-02 . 悬臂安装成只可用来回转而不能调节且不能变幅的
B66C23-04 . 在作业中悬臂的有效长度可变化的,如径向位置可变的,可伸展的
B66C23-06 . 悬臂安装成可变幅的或俯仰运动的
B66C23-16 . 悬臂支承于立柱上的,如支承在下端安装成可回转的塔架上
B66C23-18 . 专门适用于特定地区或特殊目的的
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