[发明专利]机械臂以及晶圆搬运机器人在审

专利信息
申请号: 202211093845.0 申请日: 2022-09-08
公开(公告)号: CN116423487A 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 陈子秋;吴伟平;邹展 申请(专利权)人: 广东长信精密设备有限公司
主分类号: B25J9/12 分类号: B25J9/12
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 张向琨
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 提供一种机械臂以及晶圆搬运机器人。机械臂包括肩部、第一伸缩臂、第二伸缩臂、手指安装座、手指、肩关节轴、肘关节轴及腕关节轴;肩关节轴设在肩部和第一伸缩臂之间,肘关节轴设在第一伸缩臂和第二伸缩臂之间,腕关节轴设在第二伸缩臂和手指安装座之间,手指固定于手指安装座;肩部能驱动第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩关节轴正向旋转;第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩关节轴旋转能带动第二伸缩臂及腕关节轴围绕肘关节轴反向旋转;第二伸缩臂及腕关节轴围绕肘关节轴反向旋转能带动手指安装座及手指围绕腕关节轴正向旋转;肩部驱动采用纯齿轮驱动;肩关节轴和肘关节轴之间经齿轮连接;肘关节轴和腕关节轴之间经齿轮连接。晶圆搬运机器人包括机械臂。
搜索关键词: 机械 以及 搬运 机器人
【主权项】:
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