[发明专利]氮化物器件的高通量测试方法以及氮化物器件有效
| 申请号： | 202211097995.9 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN115763641B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王新强;袁冶;刘上锋;康俊杰;罗巍;李泰 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/20;H01L33/32 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 吕露 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及光电子与电力电子器件领域，涉及一种氮化物器件的高通量测试方法以及氮化物器件。将表面形成有氮化物单晶薄膜的衬底置于刻蚀液中，每浸泡5min‑15min，将衬底向上提升8mm～1cm，直至衬底完全脱离液体表面；将刻蚀后的衬底清洗并干燥；然后将衬底进行外延生长并对外延片进行流片处理，获得氮化物器件；在氮化物器件的表面不同位置进行测试，并进行分析，得到多个测试结果，对多个测试结果进行比对，确定最优位置，根据最优位置，确定氮化物器件的最优厚度。该方法能够在最短的时间内通过最有效率的实验筛选出最佳模板厚度，从而能够快速确定不同器件对应的最佳模板厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化物 器件 通量 测试 方法 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松山湖材料实验室，未经松山湖材料实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211097995.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
