[发明专利]真空镀膜机的真空腔室表面处理加工工艺在审
| 申请号： | 202211112946.8 | 申请日： | 2022-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN115476278A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 黄介龙;杨玉飞 | 申请（专利权）人： | 江阴慕达斯真空设备有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/00 | 分类号： | B24C1/00;C25F3/16 |
| 代理公司： | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人： | 王俊 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机的真空腔室表面处理加工工艺，包括依次进行的如下工艺步骤：抛光处理或喷砂处理、水洗、硝酸酸洗、水洗擦净、超净间超纯水冲洗及超净间高纯氮吹干；在所述抛光处理工序中，对真空腔室的密封面与真空腔室的其他内壁采用不同电解抛光液的顺次抛光处理方式；或对真空腔室的密封面采用抛光处理，对真空腔室的其他内壁采用喷砂处理；真空腔室的密封面上固定设置低出气率的钛材料层。本发明对采用低出气率的钛材料的真空腔室密封面采取与腔室其他部位不同的表面处理方式，更有针对性，也减少表面处理加工的成本，本发明可以及时填补热量“漏点”处，减少能耗，提高真空烘烤的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 空腔 表面 处理 加工 工艺 | ||
【主权项】：
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