[发明专利]液体材料气化装置在审
申请号: | 202211121794.8 | 申请日: | 2022-09-15 |
公开(公告)号: | CN115888138A | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | 矢田秀贵;平井惣一朗;松浦尧 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | B01B1/00 | 分类号: | B01B1/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 李成必;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种液体材料气化装置,不设置用于加热液体材料供给管的供给管用加热机构就能够加热液体材料供给管,所述液体材料气化装置具备:气液混合部(2),将液体材料与气体混合,生成气液混合体;液体材料供给管(4),向气液混合部(2)供给液体材料;气化部(3),加热气液混合体,将液体材料气化;以及壳体(7),收容气液混合部(2)、气化部(3)以及液体材料供给管(4),在壳体(7)的内部形成有将来自气化部(3)的热对流向液体材料供给管(4)引导的流道(R)。 | ||
搜索关键词: | 液体 材料 气化 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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