[发明专利]一种碱性水系显影的负型感光树脂组合物及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202211129624.4 | 申请日： | 2022-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN115407609A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 左立辉;贾斌;唐新颖;范圣男;孙朝景;李涛;杜亚琳;宗文敏 | 申请（专利权）人： | 明士（北京）新材料开发有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 董媛 |
| 地址： | 101399 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种负型感光树脂组合物，由包括如下的组分制成：聚酰亚胺树脂、光致交联剂、光引发剂及阻聚剂；所述阻聚剂具有式(I)或式(II)所示结构；所述光致交联剂由具有双官能度的光致交联剂和具有多官能度的光致交联剂组成。本发明提供了所述负型感光树脂组合物的制备方法；本发明还提供所述负型感光树脂组合物在作为光刻材料中的应用。本发明提供的碱性水系显影的负型感光树脂组合物在应用过程中，具有80％以上的留膜率，在曝光前后放置24h后再进行显影，依然可以保持较好的图形和分辨率。本发明提高了产品对于生产状况的容忍性，增加了其普遍推广的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碱性 水系 显影 感光 树脂 组合 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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