[发明专利]半导体开关及半导体器件在审

专利信息
申请号: 202211131300.4 申请日: 2022-09-16
公开(公告)号: CN115954334A 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 黄汇钦;吴龙江;曾健忠 申请(专利权)人: 天狼芯半导体(成都)有限公司
主分类号: H01L23/492 分类号: H01L23/492;H01L23/48;H01L29/778
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 欧国聪
地址: 610000 四川省成都市高新*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 本申请涉及一种半导体开关及半导体器件。一种半导体开关,包括:HEMT异质结构层,所述HEMT异质结构层上设有金属电极;应力缓冲层,固定在所述HEMT异质结构层的上侧,与所述金属电极连接;PAD金属层,固定在所述应力缓冲层的上侧,通过所述应力缓冲层与所述金属电极连接。本申请通过在HEMT异质结构层与PAD金属层之间设置的应力缓冲层,可以使HEMT异质结构层、应力缓冲层和PAD金属层依次叠层设置,充分利用PAD金属层下方的空间,减少整体芯片面积,同时保证了PAD金属层下方电路的良率。
搜索关键词: 半导体 开关 半导体器件
【主权项】:
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