[发明专利]体声波谐振装置及其形成方法有效
| 申请号： | 202211134351.2 | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN115242215B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 汤正杰;邹雅丽;杨新宇 | 申请（专利权）人： | 常州承芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/13;H03H9/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张瑞 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种体声波谐振装置及其形成方法，属于半导体制造技术领域，其中体声波谐振装置包括：包括：基底；中间层，所述中间层包括相对的第一侧和第二侧，所述基底位于所述第一侧，所述中间层包括空腔，所述空腔的开口位于所述第二侧；电极结构，位于所述空腔内；压电层，位于所述第二侧且位于所述电极结构上，所述压电层至少覆盖所述空腔。由于所述电极结构位于所述空腔内，因此所述压电层能够为后续形成的调频层提供较为平坦的表面，减小所述调频层薄膜的晶格缺陷，提升薄膜品质，进而使得所述调频层对于器件的频率控制更加灵活且精准。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振 装置 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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