[发明专利]一种锥度可控的激光开槽加工装置及方法有效
| 申请号： | 202211134363.5 | 申请日： | 2022-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN115194342B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 曾密宗 | 申请（专利权）人： | 武汉引领光学技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;B23K26/046 |
| 代理公司： | 武汉知产时代知识产权代理有限公司 42238 | 代理人： | 万文广 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区九峰街道*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种锥度可控的激光开槽加工装置及方法。其装置中，激光出射装置用于形成入射激光；光束整形系统设置在激光出射装置后，用于将入射激光整形为多光束；光束平移系统设置在光束整形系统后，用于将多光束平移变换至光束聚焦系统前，其中，光束平移系统包括第一透镜和第二透镜，第一透镜与第二透镜的间距可调；光束聚焦系统设置在光束平移系统后，用于将平移变换后的多光束进行聚焦；位移台用于搭载样品，并带动样品移动。本发明能够依次对入射激光进行多光束整形、平移变换和聚焦，并通过调节光束平移系统中第一透镜与第二透镜的间距，控制所加工槽体的锥度，可极大程度解决目前激光开槽加工中出现的锥度和热影响区问题，提高加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锥度 可控 激光 开槽 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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