[发明专利]一种传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202211140378.2 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115235515B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 朱效谷;贾永平 | 申请（专利权）人： | 冰零智能科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | G01D3/036 | 分类号： | G01D3/036;B81B7/02;B81C3/00 |
| 代理公司： | 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 | 代理人： | 彭琰 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市新北区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种传感器及其制备方法，该传感器设置玻璃基底、由玻璃基底向外延伸出的应力隔离层以及由应力隔离层朝远离玻璃基底方向延伸出的敏感元件，由于应力隔离层的刚度低于玻璃基底和敏感元件的刚度，因此玻璃基底一侧的应力，无论是热应力还是机械应力，都几乎完全被应力隔离层阻隔而无法传递到敏感元件，也就不会对敏感元件的敏感区域产生足够影响，从而提高了传感器测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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