[发明专利]一种负性感光性树脂组合物、其图形化的方法及其用途在审
| 申请号： | 202211143011.6 | 申请日： | 2022-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN115524923A | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 马文杰;晏凯;杨遇春;夏巍;郑柳瑜 | 申请（专利权）人： | 深圳市容大感光科技股份有限公司;惠州市容大感光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 钟守期;张国庆 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市福海街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种负性感光树脂组合物，其包含以下组分：(A)碱可溶树脂，其包含具有不同分子量的至少两种酚醛清漆树脂，100重量份；(B)光致产酸剂，0.1‑5、优选0.5‑4、更优选0.5‑3.5重量份；(C)光稳定剂，0.1‑20、优选0.5‑10；(D)交联剂，1‑45、优选2‑35、更优选3‑30重量份；(E)溶剂，100‑600、优选110‑550、更优选为120‑500重量份；(F)碱性化合物，0.2‑2、优选为0.3‑1.8、更优选0.4‑1.6重量份；和(G)任选地添加剂，0.01‑20、优选为0.1‑15重量份，更优选0.1‑10重量份；其中组分(B)‑(G)的量均基于100重量份的碱可溶树脂(A)计。还涉及使用该树脂组合物进行光刻胶图形化的方法以及负性感光性树脂组合物用于半导体制备中金属图形化的用途。该树脂组合物能够适应不同的曝光波长，并且能够通过控制曝光量进而控制光刻胶显影后的底切形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性感 树脂 组合 图形 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
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