[发明专利]一种石英加料器清洁装置在审
申请号: | 202211144730.X | 申请日: | 2022-09-20 |
公开(公告)号: | CN115446054A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 云飞;王新强;万军军;劳海兵 | 申请(专利权)人: | 双良硅材料(包头)有限公司 |
主分类号: | B08B9/087 | 分类号: | B08B9/087;B08B9/093;B08B13/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 崔清杨 |
地址: | 014062 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供了一种石英加料器清洁装置。将定位支架固定在石英加料器的一端;定位支架的中心处开设有清理杆穿过的通孔;清理圈活动设置于石英加料器内,清理圈的外壁与石英加料器的内壁间隙配合;清理杆与清理圈可拆卸连接。通过上述公开的石英加料器清洁装置,通过清理杆带动清理圈对石英加料器的内壁清理,减少石英加料器内壁的灰尘和硅泥,进而在复投硅料时,能够有效减少灰尘和硅泥引入,保证了硅棒品质和晶棒的成晶率,且由于清理圈与清理杆是可拆卸连接的,因此,可根据石英加料器的内径选择合适的清理圈,保证对石英加料器的清理效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 料器 清洁 装置 | ||
【主权项】:
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