[发明专利]一种太阳能电池半成品状态评估方法在审
| 申请号： | 202211163138.4 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115565902A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 郭首锋 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种太阳能电池半成品状态评估方法。本发明包括根据不同类型的电池片以及不同电池工序制作电池灰度值样片；对对应类型的电池片和电池工序下的曝光值进行修正，使得对应类型的电池片和电池工序下PL测试仪测得的电池灰度值样片的测试灰度值与电池灰度值样片的实际灰度值一致；根据对应类型的电池片和电池工序下修正后的曝光值以及PL测试仪对来料电池片进行灰度值检测；根据对来料电池片灰度值的检测结果判断来料电池片是否不良。本发明所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，通过建立每个工序下的PL检测基准，能够对不同类型的电池片以及不同电池工序下的不良半成品进行检测，能够提早发现异常、减少排查难度并减少经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 半成品 状态 评估 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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