[发明专利]一种用于元件表面的散射特性测量装置及方法在审
| 申请号： | 202211166332.8 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN115753690A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 刘巍;李朝辉;毛振;赵建科;朱辉;魏紫薇;刘勇;刘金博 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/49 | 分类号： | G01N21/49 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 赵逸宸 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于元件表面的散射特性测量装置及方法，以解决现有的显微镜检测方法检测效率低，检测成本高且容易伤害元件表面的问题。具体包括积分球A、积分球B、衰减模块、光源组件、第一探测器、第二探测器和数据处理单元；积分球A上设有入射口、第一出射口、采样口和第二出射口；光源组件对应设置在积分球A的入射口外，第一探测器对应设置在积分球A的第一出射口外；采样口分别与积分球A的入射口及第一出射口对应，采样口用于设置待测元件；积分球B上设有入射口和出射口；第二探测器设置对应在积分球B的出射口处；衰减模块设置在积分球A的第二出射口与积分球B的入射口之间；数据处理单元分别与第一探测器和第二探测器电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 元件 表面 散射 特性 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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