[发明专利]一种负胶显影液及其制备方法在审
申请号: | 202211166828.5 | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN115407622A | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 操岳峰;许磊;王维康;黄德新;束从燕 | 申请(专利权)人: | 合肥中聚和成电子材料有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32;C08G65/28;C07C213/00;C07C217/84;C07C227/20;C07C229/60 |
代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 缪璐欢 |
地址: | 231607 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明公开了一种负胶显影液及其制备方法,所述负胶显影液主要由以下重量百分比的原料组成:KOH 0.02‑0.1%、非离子型表面活性剂0.1%‑2%、余量为水;非离子型表面活性剂为醇类和胺类芳香型聚合物的混合物;所述胺类芳香型聚合物的结构式如下: |
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搜索关键词: | 一种 显影液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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