[发明专利]静电吸盘安装拆卸工具在审
| 申请号： | 202211175099.X | 申请日： | 2022-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN115533813A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 张亚新;冯鹏;谈太德;孙晓波;杨辰烨;李钦波 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/00 | 分类号： | B25B27/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陶玉龙 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种静电吸盘安装拆卸工具。本发明提出的一种静电吸盘安装拆卸工具，包括：静电吸盘组件取放工装，所述静电吸盘组件取放工装，用于与静电吸盘组件进行紧固连接；数根导向轴，一端与腔体底部连接，所述静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件沿导向轴进入或者取出腔体；数个紧固件，用于将静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件进行紧固连接以及将静电吸盘组件与腔体进行紧固连接。本发明提出的静电吸盘安装拆卸工具，可以实现静电吸盘组件的快速安装与拆卸，一方面对静电吸盘组件的安装和拆卸更为方便、安全、稳定，另一方面可以有效减少静电吸盘组件的维护工时，提高HDP‑CVD设备的维护效率。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 安装 拆卸 工具 | ||
【主权项】：
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