[发明专利]一种微纳结构图像高通量自动采集拼接系统

摘要

本发明实施例提供一种微纳结构图像高通量自动采集拼接系统，通过在微纳显微镜的XY两轴平动载物台外连接两路电推杆，将手动移动拍摄样品改为电动，通过图像采集程序对微纳显微镜进行微距移动控制、图像采集，能够在小误差等间距移动载物台的同时自动采集微纳结构图像样本，并通过显微图像全景图拼接算法自动拼接样本全景图，实现对大尺寸微纳结构样品的高通量显微图像从采集到拼接全自动化，提高了后续的检测分析环节的效率和精度。