[发明专利]一种石英玻璃半球谐振子低损耗金属化镀膜方法及产品在审
| 申请号： | 202211181781.X | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN115612982A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 许剑锋;楚建宁;刘鑫;张雄;张建国;肖峻峰 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35;C23C14/18;G01C25/00 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 梁鹏;张彩锦 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于惯性导航半球谐振陀螺仪相关技术领域，并公开了一种石英玻璃半球谐振子低损耗金属化镀膜方法，包括：制备物理掩膜，将半球谐振子的整个外球面和内球面上的部分表面进行遮蔽；在半球谐振子的端面、下支撑柱的表面以及部分内球面上，沉积一层过渡金属薄膜；在已沉积的过渡金属薄膜层上再沉积导电层，形成复合金属导电膜层；将半球谐振子端面与下支撑柱表面各自形成的复合金属导电膜层之间，施加多个导电条带连接。本发明还公开了相应的半球谐振子产品。通过本发明，能够在充分满足石英玻璃谐振子电气化功能的前提下，有效降低表面金属化薄膜所占面积，同时减小了因金属化薄膜所引入的阻尼，从而显著提升谐振子的品质因数，改善其性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 半球 谐振子 损耗 金属化 镀膜 方法 产品 | ||
【主权项】：
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