[发明专利]用于单晶炉的坩埚支承组件和单晶炉在审
| 申请号： | 202211185423.6 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN115506008A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 杨文武 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B15/12;C30B29/06;F16F15/02 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 宋东阳;侯丽丽 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本公开涉及用于单晶炉的坩埚支承组件和单晶炉，该用于单晶炉的坩埚支承组件包括：坩埚托盘，其用于支承坩埚；以及坩埚轴，其包括与动力源连接的第一端部和与坩埚托盘连接的第二端部，以用于通过由动力源驱动旋转而带动坩埚旋转，其中，坩埚支承组件设置有用于缓冲坩埚支承组件的震动的吸震结构。通过该坩埚支承组件，可以阻隔或至少减少震动向坩埚的传递，由此消除或至少减弱坩埚中硅溶液的液面的抖动，降低由此造成的晶体断线和晶体中形成疏松孔的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 单晶炉 坩埚 支承 组件 | ||
【主权项】：
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