[发明专利]一种实现温度梯度分布测量的传感器及制备方法在审

专利信息
申请号: 202211186086.2 申请日: 2022-09-27
公开(公告)号: CN115560870A 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 王晓晶;罗晓亮;王浩旭;崔辛;张佩佩;胡振峰;梁秀兵 申请(专利权)人: 中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院
主分类号: G01K7/02 分类号: G01K7/02;G01K1/08
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王治东
地址: 100071 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种实现温度梯度分布测量的传感器及制备方法,其中,传感器包括:前端的针形温度测头和后端的焊盘区,所述传感器从下到上依次包括基底层和热电偶薄膜层;所述热电偶薄膜层包括分别作为正负极的单个第一热电偶薄膜和多个第二热电偶薄膜;第一热电偶薄膜和第二热电偶薄膜均与焊盘区连接,且单个所述第一热电偶薄膜和多个所述第二热电偶薄膜分别在多个节点处搭接,形成多个沿针形方向间隔排布的热电偶测温节点。其中,针形温度测头的侵入破坏小,最大程度降低了对被测材料/结构的损伤,有利于高精度的测量,并且形成多个沿针形方向间隔排布的热电偶测温节点,从而实现同一方向的温度梯度分布的精确测量。
搜索关键词: 一种 实现 温度梯度 分布 测量 传感器 制备 方法
【主权项】:
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