[发明专利]一种红外探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211191662.2 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN115403004A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 黄立;王雅琴;张明光;叶帆;王春水;高健飞 | 申请（专利权）人： | 武汉高芯科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02;G01J5/02;G01J5/10 |
| 代理公司： | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525 | 代理人： | 宋宝焱 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于真空封装方式的结构设计与制备方法，具体涉及一种非制冷红外探测器的阵列及其真空封装方法，通过沉积、图形化、旋涂、刻蚀、镀膜等技术的使用使得微盖支撑层和增透膜层共同形成密闭微盖，在中空锚柱孔内形成支撑柱，支撑柱对微盖形成支撑，像元阵列结构整体封装在密闭微盖内，微盖内为满足探测器结构工作的真空环境，有效避免的微型真空腔腔内无支撑的问题，解决了真空腔易破裂的问题，提高了阵列级真空封装的可靠性，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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