[发明专利]功率器件栅氧化层可靠性评估方法在审
| 申请号： | 202211191765.9 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN115684859A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 和巍巍;汪之涵;唐宏浩 | 申请（专利权）人： | 深圳基本半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 曾柳燕 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山区坑梓街道办*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请的实施例提供一种功率器件栅氧化层可靠性评估方法，包括：在多个功率器件的栅极施加电压，以在预设温度下进行预设时间的高温栅偏压试验；测试经过所述高温栅偏压试验后的所述功率器件的静态参数，并剔除处于失效状态的功率器件；确认所述多个功率器件是否失效；若所述多个功率器件没有失效，则将所述功率器件的栅极电压以预设梯度进行递增，并在预设温度下进行预设时间的高温栅偏压试验，直到所述多个功率器件全部失效；对失效的功率器件进行剖片分析；处理所述多个功率器件的失效情况并计算故障率。本申请的实施例可以对功率器件的可靠性进行评估，测试使用的器件数量少，节约测试分析成本。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 器件 氧化 可靠性 评估 方法 | ||
【主权项】：
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