[发明专利]一种大尺寸、高致密度钼靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202211204651.3 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115502403A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;周友平;孙慧芳;吴东青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F5/00 | 分类号： | B22F5/00;C23C14/34;B22F3/15;B22F3/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种大尺寸、高致密度的钼靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将钼粉依次进行退火、冷压和热压烧结，得到钼坯；将所述钼坯放入焊接后的包套中，经热等静压拼接后，得到钼靶材；制备得到的钼靶材的尺寸＞3000mm、致密度＞99.9％。本发明提供的制备方法通过将经过筛分、退火后的钼粉先进行一次冷压成型，后进行多段升温及保温的热压炉烧结致密，得到小段的钼靶坯经过热等静压拼接，再经过机械加工、清洗包装等工序，制备得到的钼靶材致密度高、晶粒细小、尺寸大，能够满足液晶显示和触控屏行业的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 致密 度钼靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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