[发明专利]一种埋容产品双面蚀刻的方法在审

专利信息
申请号: 202211206061.4 申请日: 2022-09-30
公开(公告)号: CN115460778A 公开(公告)日: 2022-12-09
发明(设计)人: 李亮;范红;贺梓修;宋波;沈文 申请(专利权)人: 奥士康科技股份有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00;H05K3/06
代理公司: 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 代理人: 徐新
地址: 413000 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明提供一种埋容产品双面蚀刻的方法,包括以下步骤:S1:取两块厚度1.0mm无铜基板,中间捞空;S2:在捞空处且捞空尺寸较产品尺寸多出的区域贴合上橡胶一类的软质材料;S3:埋容基板放置在无铜基板上,上下基板上的软质材料压住埋容基板,再在四角加上卡扣,通过卡扣的压力,来固定住埋容基板;S4:埋容基板悬空固定在无铜基板上,捞空设计可以在蚀刻时充分的进行药水交换,所述捞空尺寸较产品尺寸单边小15mm,所述S2中的捞空时需要使用到捞空装置,所述工作台的内部开设有凹槽。本发明提供的一种埋容产品双面蚀刻的方法,通过该种方法进行着双面蚀刻时能够节省了工艺流程,压合‑压膜‑曝光‑蚀刻且上下铜箔对准度更优,电容值更易管控。
搜索关键词: 一种 产品 双面 蚀刻 方法
【主权项】:
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