[发明专利]一种氖气中氦气含量标准曲线的建立方法、氖气中氦气含量的检测方法和检测装置在审
| 申请号： | 202211207565.8 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115479732A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 常侠;牛迪;张澈;边鲁宁;陈爽 | 申请（专利权）人： | 中昊光明化工研究设计院有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王苗苗 |
| 地址： | 116031 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氖气中氦气含量标准曲线的建立方法、氖气中氦气含量的检测方法和检测装置，涉及分析检测技术领域。本发明提供的氖气中氦气含量标准曲线的建立方法，包括以下步骤：将待测氖气和氖中氦标准气体混合，得到一系列不同浓度的氦标准气体；所述一系列不同浓度的氦标准气体与待测氖气的浓度差为氦增加的浓度；采用氦质谱检漏仪检测所述一系列不同浓度的氦标准气体，得到一系列不同浓度的氦标准气体的响应值；以所述氦增加的浓度为横坐标，以所述一系列不同浓度的氦标准气体的响应值为纵坐标，得到响应值与氦增加的浓度的标准曲线。采用本发明提供的方法建立的标准曲线，检测限能够达到0.1ppm，而且具有高准确度和良好的精密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氖气中 氦气 含量 标准 曲线 建立 方法 检测 装置 | ||
【主权项】：
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