[发明专利]用于对衬底的表面的至少一个区域或区段改性的方法和衬底在审
| 申请号： | 202211208534.4 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115893859A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | C·欧特曼;F·巴丘伯;S·魏德利希 | 申请（专利权）人： | 肖特股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C3/12;C03C3/076;C03C3/062;C04B41/91 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于对衬底的表面或区段的至少一个区域进行改性的方法以及相应改性的衬底。衬底可为晶圆，尤其包括透明的、高折射率的多组分玻璃的晶圆。提出用于对衬底的表面和/或区段的至少一个区域进行物理改性的方法，其中通过施加粒子束对衬底的表面的区域或区段进行改性。衬底的根据本发明改性的区域例如可用于成像的光学系统、例如应用在增强现实的领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 表面 至少 一个 区域 区段 改性 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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