[发明专利]一种垂直腔面发射激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211215133.1 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115425519A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 李含轩;牛守柱;李辉杰;李善文 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 蔡舒野 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器及其制备方法，其中垂直腔面发射激光器包括：衬底；外延基本结构，位于衬底的一侧；外延基本结构包括多个有源区，多个有源区沿外延生长方向层叠设置；相邻两层的有源区之间由隧道结连接；介质层，位于外延基本结构远离衬底的一侧；驻波调节层，穿插在外延基本结构中，并靠近介质层设置；驻波调节层用于调节激光的驻波分布，以使驻波光场中的波峰偏离外延基本结构的出光腔面；其中出光腔面为外延基本结构远离衬底的表面。减少了界面态对光子的吸收，从而实现更高水平的COD阈值，保证器件具有更高的功率密度输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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