[发明专利]光罩及其检测方法、缺陷图案及其形成方法、装置和设备在审
| 申请号： | 202211215565.2 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115564729A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 薛慧慧;田锋;朱浩;吴大俊 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/13 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;徐川 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种光罩及其检测方法、缺陷图案及其形成方法、装置和设备，该方法包括：在待检测光罩的第一检测区上，确定第一检测区的图案中存在的第一缺陷的关键尺寸；基于第一检测区的图案和第一缺陷的类型，获取样品光罩中相同图案、相同缺陷类型中目标缺陷允许的关键尺寸范围，其中，样品光罩中具有目标缺陷的图案转移到晶圆上形成的目标图案的关键尺寸在参考图案的关键尺寸范围内，参考图案为与第一检测区的图案相同但不包含缺陷的参考检测区的图案转移到晶圆上形成的图案；在第一缺陷的关键尺寸不在目标缺陷允许的关键尺寸范围内的情况下，确定待检测光罩为不良品。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 检测 方法 缺陷 图案 形成 装置 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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