[发明专利]声表面波谐振器结构及其形成方法、滤波器有效
| 申请号： | 202211219108.0 | 申请日： | 2022-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN115296642B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 蒋莎莎;焦玉恒 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开实施例提供一种声表面波谐振器结构及其形成方法、滤波器，声表面波谐振器结构包括：压电基板；叉指换能器，包括第一叉指电极结构和第二叉指电极结构，其中第一叉指电极结构包括彼此连接的第一叉指电极和第一叉指电极引出部，第二叉指电极结构包括彼此连接的第二叉指电极和第二叉指电极引出部，第一叉指电极和第二叉指电极沿第一方向延伸且在第二方向上交替排列；温度补偿层，设置于叉指换能器的远离压电基板的一侧；以及第一保护层，设置于叉指换能器与温度补偿层之间，保护层被配置成保护叉指换能器不被氧化。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 谐振器 结构 及其 形成 方法 滤波器 | ||
【主权项】：
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