[发明专利]一种掩膜版生产过程中的污染物监测方法及系统

摘要

本发明提供了一种掩膜版生产过程中的污染物监测方法及系统，涉及数据处理技术领域，通过根据当前生产工序信息确定污染物监测特征、监测手段信息；根据监测手段信息对生产工序过程进行监测获得监测信息，当存在污染物时根据监测结果生成提醒信息；当监测结果不存在污染物时，将监测结果、当前生产工序信息录入生产链中，基于生产链进行生产全过程污染物影响预测，当存在污染物影响时生成污染监测提醒信息。解决现有通过后道工序进行缺陷检测，缺乏在生产过程中的有效监测手段，存在缺陷发现不及时而影响产品品质和造成资源浪费的技术问题。达到实时监测并预测，及时发现异常，提高掩膜版品质同时避免资源的加工浪费的技术效果。