[发明专利]嵌入式无引线键合的封装方法及封装结构在审

专利信息
申请号: 202211241641.7 申请日: 2022-10-11
公开(公告)号: CN115621140A 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 陶甄宇 申请(专利权)人: 吉光半导体(绍兴)有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 张亚静
地址: 312000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种嵌入式无引线键合的封装方法及封装结构,所述封装方法包括:提供绝缘基板,在绝缘基板的上表面与下表面分别形成上导电图案与下导电图案,绝缘基板内还形成有贯穿绝缘基板的通孔与凹槽,通孔与凹槽均暴露出下导电图案,且通孔与凹槽的侧壁顶部均形成有上导电图案;将芯片嵌入凹槽内,芯片的底部与下导电图案相连接;形成导电盖板,导电盖板填满凹槽与通孔,并覆盖凹槽与通孔侧壁顶部的上导电图案;芯片的顶部与导电盖板以及上导电图案相连接;通孔内的导电盖板作为导电通道实现相邻芯片之间的电气互连。本发明提供的封装方法,无引线键合,消除了因键合线工艺产生的疲劳效应,提高了封装的可靠性。
搜索关键词: 嵌入式 引线 封装 方法 结构
【主权项】:
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