[发明专利]一种基于柔性衬底的感存算器件及制备方法在审
申请号: | 202211242840.X | 申请日: | 2022-10-11 |
公开(公告)号: | CN115618936A | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 杨雅芬;何振宇;王天宇;孟佳琳;张卫 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路制造创新中心有限公司 |
主分类号: | G06N3/06 | 分类号: | G06N3/06;B82Y10/00;B82Y15/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人: | 张磊 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于柔性衬底的感存算器件及制备方法,包括在柔性衬底上形成并列设置的两个电极,以及形成连接于两个电极之间的功能层,功能层包括连接于两个电极之间的金属氧化物纳米线。本发明通过采用常温化学方法制备基于柔性衬底和金属氧化物纳米线的感存算器件,在物理形态上与生物系统更加兼容,同时避免了柔性衬底在高温条件下容易变形的问题,可以适用于新型可穿戴系统,具有制备方法简便,工艺可与低温的CMOS工艺相兼容,器件电学特性测试简便等优点,有望未来在可穿戴感存算器件制造中获得应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 柔性 衬底 感存算 器件 制备 方法 | ||
【主权项】:
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