[发明专利]实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法在审

专利信息
申请号: 202211250906.X 申请日: 2022-10-12
公开(公告)号: CN115616368A 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 张会杰;孟宪伟 申请(专利权)人: 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 张亚静
地址: 312000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种实现DSC产品上下桥高温反偏同时测试的方法,包括:对HTRB设备进行改造,使加压方式为双电源同时提供正、负电压;推导出DSC产品电压与结温的函数关系;获得多个DSC产品的上下桥的结温与漏电流的对数公式;将对数公式导入HTRB设备中,确认HTRB设备内的对数公式计算出的结温与数据采集器采集到的结温的差值是否在误差范围内;若是则确定导入的对数公式正确,并采用HTRB设备对DSC产品的上下桥同时进行测试;若否则重新获得对数公式并进行后续操作。本发明通过对所述HTRB设备进行改造并导入公式,由上下桥高温反偏分开测试变更为上下桥高温反偏同时测试,缩短了测试时间,提升了产能。
搜索关键词: 实现 dsc 产品 上下 高温 同时 测试 方法
【主权项】:
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