[发明专利]一种托盘控温加热器装置及其控制方法

摘要

本说明书实施例提供一种托盘控温加热器装置及其控制方法，所述托盘控温加热器装置包括托盘，用于承载衬底；加热装置，设置于托盘下方，用于对所述托盘进行加热，包括第一加热装置、第二加热装置和第三加热装置；旋转装置，用于旋转所述托盘；检测装置，用于测量所述衬底中至少一个检测点位的温度；控制装置，用于基于所述检测装置的检测结果，控制所述第一加热装置、所述第二加热装置和所述第三加热装置的加热温度，以及控制所述旋转装置的旋转速度。