[发明专利]显影方法及显影装置在审
| 申请号： | 202211256624.0 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN115327868A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 杨洋;王忠诚 | 申请（专利权）人： | 合肥新晶集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 王晓玲 |
| 地址： | 230012 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种显影方法及显影装置。该显影方法包括：获取待显影基材中目标区域的第一光刻胶参数，其中，待显影基材表面涂覆有光刻胶，光刻胶参数至少包括光刻胶厚度；至少根据第一光刻胶参数，确定与目标区域对应的第一显影参数；根据第一显影参数，控制多个显影液输送管线上至少一个阀门开启，其中，显影液输送管线用于在开启的状态下向待显影基材喷洒显影液，第一显影参数至少包括显影液的流量。通过上述显影方法使得喷洒的显影液能够实现对目标区域的光刻胶进行精准的显影，避免涂覆有光刻胶的基材表面显影过度或显影不足，从而得到线宽均匀的光刻图形。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 方法 装置 | ||
【主权项】：
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