[发明专利]一种驱动桥臂型微桥结构在审
| 申请号： | 202211260431.2 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN115655482A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 黄添萍;李海涛 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G01J5/22;G01J5/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 唐静 |
| 地址： | 239064 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种驱动桥臂型微桥结构，通过引入驱动桥臂结构，对驱动桥臂施加电压产生焦耳热，利用桥臂材料的热膨胀效应使得桥臂运动，由于形成桥臂材料的热膨胀系数不同，在温度升高后，桥臂能向一侧弯曲，从而可将桥面整体抬高，更好地发挥谐振腔高度对吸收率的影响。并且，因为桥臂可将桥面抬高至理想高度，桥腿可设计成无高度或低高度的结构，避免了高桥腿在沉积刻蚀工艺所产生的影响，使微桥结构通过桥腿与衬底的读出电路形成良好的电连接，避免了桥腿接触不良的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 桥臂型微桥 结构 | ||
【主权项】：
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