[发明专利]一种避免异常放电的钛靶材及其加工方法在审
| 申请号： | 202211261698.3 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN115572952A | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;苏阳能 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B23P15/00;B24C1/06 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种避免异常放电的钛靶材及其加工方法，所述钛靶材包括依次连接的溅射面、侧面以及喷砂凹槽；所述喷砂凹槽包括第一凹槽和第二凹槽；所述第一凹槽的深度为4.5‑5.5mm。本发明调整了第一凹槽的深度以及靶材侧面与溅射面之间的倒角半径，对第一凹槽进行加深处理，增大溅射腔体的腔壁与靶材凹槽的间隙，避免反溅射物在凹槽内发生Arcing的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 异常 放电 钛靶材 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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