[发明专利]一种MEMS谐振器系统在审
| 申请号： | 202211269370.6 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN115622528A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 张凯凡;张昊城;车录锋 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 绍兴锋行知识产权代理事务所(普通合伙) 33460 | 代理人： | 徐锋 |
| 地址： | 310000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS谐振器系统。整个谐振器系统包括六个谐振环、连接谐振环的耦合梁、位于环内外侧的驱动/检测电极及固定整个结构的中心锚点。每个谐振环都以呼吸模态进行振动，耦合梁以纵向伸展模态进行振动。所述系统对称的六边形结构，提高了稳定性和抗冲击能力，良好的模态耦合搭配单锚点降低了能量损耗，多个环形结构和内外电极的设置增大了耦合电极面积，提高了机电耦合系数，增大了输出功率，六个谐振环及耦合梁的并联排布降低了动态电阻，差分驱动和检测降低了后端维持电路的复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 谐振器 系统 | ||
【主权项】：
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